[지디넷코리아]AP시스템이 초정밀 광학검사 솔루션 업체 SD옵틱스에 전략적 지분 투자를 했다고 28일 밝혔다. AP시스템은 "SD옵틱스 제3자 배정 유상증자에 참여해 전환우선주(CPS) 신주를 인수하기로 결정했다"며 "SD옵틱스 광학 기술을 AP시스템 장비에 내재화하고 신규 시장 개척을 위해 파트너십을 구축하겠다"고 설명했다. SD옵틱스는 미세전자기계시스템(MEMS) 기반 '미러 어레이 렌즈 기술'(MALS)을 세계 최초로 상용화했다. MALS는 미세거울 배열 움직임을 초고속(1만 2000Hz)으로 제어해 기계 진동 없이 초점을 실시간 변경할 수 있다. 단차가 큰 시료 3D 형상 계측과 초고속 비전 검사에 사용할 수 있다. 자이스 현미경 시스템에 해당 기술이 채택됐고, 반도체 패키징 유리기판과 패키징, 디스플레이 분야 기업에 검사 모듈과 장비를 공급하고 있다. 양사는 ▲차세대 광학 기술 기반 신규 장비 공동 개발·시장 발굴 ▲AP시스템 공정 장비 계측·검사 기능 고도화 ▲영업 네트워크를 활용한 공동 프로모션 등에서 협력한다.신규 독립형 계측·검사장비와 공정·검사 복합장비부터 공동 개발한다. 타깃은 고대역폭메모리(HBM), 팬아웃-패널레벨패키징(FO-PLP), 반도체 유리기판 유리관통전극(TGV) 등 첨단 반도체 패키징 시장이다. AP시스템은 주력인 반도체·디스플레이 장비에 SD옵틱스 MALS 기반 초점 추적·3D 라인 스캔 모듈을 탑재할 계획이다. 공정 전후 미세한 표면 형상, 단차, 잔사 등을 실시간 측정할 수 있다. AP시스템은 "MEMS 가변초점 기술을 보유한 SD옵틱스와 협력해 주력 장비 부가가치를 키우고, 차세대 반도체 검사 시장에서 성장동력을 확보하겠다"고 말했다.
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